隨著對微納米技術的研究和材料分析的需要，掃描電鏡在科研領域越來越重要，是光學顯微鏡無法比擬的。那么今天我們就給大家來講述下sem掃描電鏡的發展歷史。

電子顯微鏡通常可分為掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡兩類，是材料微觀分析的重要工具之一，被廣泛應用于材料、化工、醫學、生物等各個領域。

電鏡的發展歷史

1924年：波粒二相性理論的提出

法國物理學家德布羅意指出：一切接近于光速運動的粒子均具有波的性質。人們由此聯想是否可利用波長更短的電子波代替可見光成像？

1926年：磁透鏡聚焦理論的提出

德國學者 H. Busch 提出了運動電子在磁場中的運動理論。他指出：具有軸對稱的磁場對電子束具有聚焦作用。這為電子顯微鏡的發明提供了重要的理論依據。

1931年：**個電子圖像的獲得

德國學者Knoll和Ruska頭次獲得了放大12倍銅網的電子圖像。證明可用電子束和磁透鏡進行成像。

1931-1934年：**臺透射電鏡的誕生

1939年研制成功世界上**臺商品透射電鏡，分辨率優于 100埃；1954年進一步研制成功Elmiskop I型透射電鏡，分辨率優于10埃。

1939年：**臺商品透射電鏡的問世

德國學者魯斯卡等研制成功世界上**臺透射電子顯微鏡，至1934年其分辨率達到了500 埃。魯斯卡因為在電鏡光學基礎研究及以上貢獻獲得了1986年諾貝爾物理獎。

1935年：頭次提出掃描電鏡概念。

在透射電鏡的基礎上, 1935年德國學者諾爾頭次提出了sem掃描電鏡的概念，1952年劍橋大學Oatley等制作了出掃描電鏡。

1965年：**臺商品掃描電鏡

1965年劍橋大學推出**臺商品sem掃描電鏡。目前其發展方向是場發射型高分辨掃描電鏡和環境掃描電鏡。