臺式掃描電鏡能譜一體機是集成化成像分析系統。使用它既可以觀察樣品的形貌，同時又能進行元素的定性和定量分析。除了元素的點分析，元素的線面掃功能可以進一步分析元素的分布情況。

不同價位的臺式掃描電鏡能譜一體機略有不同，主要是以下三個方面的質量差異。

1、電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。

2、鏡筒主要有電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏、檢測器等部件。這些部件通常從上到下組裝成一個圓柱體。

3、電子透鏡用于聚焦電子，是電子顯微鏡鏡筒中很重要的部分。一般使用磁透鏡，有時也使用靜電透鏡。

它利用與鏡筒軸對稱的空間電場或磁場，使電子軌跡向軸彎曲，形成焦點。其作用與光學顯微鏡中的光學透鏡（凸透鏡）一樣，使光束聚焦，故稱為電子透鏡。光學鏡頭的焦點是固定的，而電子鏡頭的焦點是可以調節的，因此電子顯微鏡沒有光學顯微鏡那樣的可移動鏡頭系統。

大多數現代電子顯微鏡都使用電磁透鏡，電子被非常穩定的直流激勵電流通過帶極靴的線圈產生的強磁場聚焦。電子源由釋放自由電子的陰極、柵極和以環形加速電子的陽極組成。陰極和陽極之間的電壓差需要很高，一般在幾千伏到三百萬伏之間。它能以均勻的速度發射并形成電子束，因此加速電壓的穩定性不低于萬分之一。

樣品可以穩定地放置在樣品架上，常有可以改變樣品的裝置（如移動、旋轉、加熱、冷卻、拉長等）。

電子顯微鏡按其結構和用途可分為透射電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡、反射電子顯微鏡和發射電子顯微鏡。